تفسير

يتم نقل متوسط ​​الضغط مباشرة إلى عنصر السيليكون الحساس من خلال غشاء سميك. يتم تحويل السلالة بهيكل سيليكون مُشغل بالآلات الدقيقة (MEMS). مبدأ المعالجة مقاوم للضغط. "IMPACT" هو مجموعة من مستشعرات الضغط الخاصة بدرجات الحرارة المرتفعة من جفران باستخدام مبدأ مقاومة الضغط. الميزة الرئيسية لأجهزة الاستشعار من سلسلة “IMPACT” هي أنها لا تحتوي على أي سائل ناقل حركة. يتكون العنصر الحساس الموضوع مباشرة خلف غشاء التلامس من السيليكون من خلال تقنيات التصنيع الدقيق. المجهرية. ويشمل غشاء القياس ومقاومات بيزو. يسمح الحد الأدنى للانحراف المطلوب للعنصر الحساس باستخدام ميكانيكا متينة للغاية. يمكن أن يصل سمك غشاء التلامس للإنتاج إلى 15 مرة أكثر من الغشاء المستخدم في مستشعرات الذوبان التقليدية.